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高純氣體的充裝流程
時間: 2021-05-12瀏覽次數：
高純氣體的充裝流程主要有三步，一準備工作，二抽空操作，三管道保壓操作。 一、準備工作： 1、氣瓶上架。 2、微開閥門通入0.2MPa壓力 3、檢查充裝軟管與氣瓶連接是否泄漏。 4、關
高純氣體的充裝流程主要有三步，一準備工作，二抽空操作，三管道保壓操作。
一、準備工作：
1、氣瓶上架。
2、微開閥門通入0.2MPa壓力
3、檢查充裝軟管與氣瓶連接是否泄漏。
4、關閉閥門，開啟充裝排放空閥，泄壓至0.
5、目測壓力表是否為0。
二、抽空操作：
1、開啟真空泵，同時抽空匯流排，負壓值≥0.1MPa，繼續抽真空15~30min，關閉抽空管道截止閥后，停止真空泵;
2、緩慢開啟抽空總閥。
3、真空表指示值<-0.1MPa
4、抽空5~15分鐘后。
5、關閉抽空總閥。
6、開啟通氣閥。
7、關閉真空泵，抽空結束。
三、管道保壓操作:
1、高純氣體的充裝結束后，關閉充裝排總閥。
2、30分鐘后目測壓力表壓降低于10~15%。
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